Rozprašování je jednou z hlavních technik přípravy materiálů z tenkých vrstev. Využívá ionty produkované zdrojem iontů k urychlení akumulace ve vakuu a vytváří vysokorychlostní iontový paprsek, bombarduje pevný povrch a vyměňuje kinetickou energii mezi ionty a atomy na pevném povrchu, takže atomy na pevném povrchu opouštějí pevný povrch a ukládají se na základní povrch a jsou bombardovány. Pevné těleso je surovina pro přípravu naprašovaných nanesených tenkých filmů, které se nazývají rozprašovací elektrody.
Aplikace
Rozprašovací elektrody se používají hlavně v elektronickém a informačním průmyslu, jako jsou integrované obvody, ukládání informací, displej z tekutých krystalů, laserová paměť, elektronická řídicí zařízení atd. Mohou být také použity v oblasti lakování skla, materiálů odolných proti opotřebení, vysokých - odolnost proti korozi teploty, vysoce kvalitní dekorativní výrobky a další průmyslová odvětví.
Klasifikace
Podle tvaru může být rozdělen na čtvercový terč, kruhový terč a neobvyklý terč.
Podle složení může být rozdělena na kovový terč, slitinový terč a terč na keramické sloučeniny.
Podle aplikačního pole může být rozdělena na mikroelektronický cíl, magnetický záznamový cíl, CD-ROM cíl, cíl z drahých kovů, cíl pro tenký film, cíl pro vodivý film, povrchově upravený cíl, cíl optické masky, cíl dekorativní vrstvy, elektrodový cíl , cíl balení a další cíl.
Vysoce čisté a dokonce ultra vysoce čisté kovové materiály jsou základem pro výrobu vysoce čistých rozprašovacích terčových materiálů. Jako příklad lze uvést rozprašovací elektrody pro polovodičové čipy, pokud je obsah nečistot rozprašovacích elektrod příliš vysoký, vytvořená fólie nemůže splňovat požadovaný elektrický výkon a částice se snadno vytvoří na oplatce během rozprašovacího procesu, což vede ke zkratu nebo ztráta obvodu. Špatné, vážně ovlivňují výkon filmu.
