Rozumíte Roztřesenému cíli - znalosti - Xi'an Econ Industrial Corp.

Rozumíte Supttering Target

Hlavní požadavky na výkon materiálu Supttering Target:

Čistota
Čistota je jedním z hlavních ukazatelů výkonnosti materiálu Supttering Target, protože čistota cílového materiálu má velký vliv na výkon filmu. V praktických aplikacích se však požadavky na čistotu cílových materiálů liší.
Obsah nečistot
Hlavními zdroji znečištění ukládaných tenkých vrstev jsou nečistoty v cílových pevných látkách a kyslík a voda ve stomatech. Cíle pro různé účely mají různé požadavky na různý obsah nečistot. Například cíle z čistého hliníku a slitiny hliníku používané v polovodičovém průmyslu mají zvláštní požadavky na obsah alkalických kovů a radioaktivních prvků.
Hustota
Aby se snížila pórovitost v pevné látce terče a zlepšila se účinnost rozprašované fólie, je obvykle požadováno, aby terč měl vysokou hustotu. Cílová hustota ovlivňuje nejen rychlost rozprašování, ale také ovlivňuje elektrické a optické vlastnosti fólií. Čím vyšší je cílová hustota, tím lepší vlastnosti filmů. Kromě toho zvýšení hustoty a pevnosti terče může terč lépe odolávat tepelnému namáhání v procesu naprašování. Hustota je také jedním z klíčových ukazatelů výkonnosti cílových materiálů.
Velikost zrna a distribuce velikosti zrna
Cílový materiál je obvykle polykrystalický a velikost zrn se může pohybovat od mikronu do milimetru. Pro stejný cíl je rychlost rozprašování terče s jemným zrnem rychlejší než rychlost terče s hrubým zrnem a distribuce tloušťky filmu uloženého terčem s malým rozdílem velikosti zrna (rovnoměrné rozdělení) je rovnoměrnější.